معرفی
لوله های دیفیوزر قطعه ای حیاتی در صنعت نیمه رساناهاست که دیفیوز، فیلتراسیون و توزیع را در فرایند گازها آسان می کند. این لوله ها از مواد متخلخل با خلوص بالا ساخته شده اند که باعث جریانی پایدار می شوند. تخلخل آنها به نحوی مهندسی شده است که می توان با کنترل حجم و اندازه حفرات، نرخ جریان دقیقی را ارایه کرد. لوله های دیفیوزر در کوره های دیفیوزر استفاده می شوند که این کوره ها در فرایند تولید قطعات نیمه رسانا به ویژه در تبدیل ناخالصی ها به ویفرهای سیلیکون با خلوص بالا به منظور تولید دستگاه های نیمه رسانا جاسازی شده، استفاده می شوند. این کوره ها به طور معمول دارای سه ناحیه گرمایشی و حلقه کنترل جریان گاز هستند که برخی از فرایندهای آنها تحت شرایط خلا انجام می شود.
ضروری است که از خلوص مواد استفاده شده در فرایند تولید نیمه رسانا اطمنیان حاصل کرد که لوله های دیفیوزر وسیله ای مناسب برای دستیابی به این مهم هستند. این لوله ها براساس بالاترین استاندارد عملکرد و کیفیت طراحی شده اند و قطعاتی ضروری برای دستیابی به محیطی پاک در فرایندهای مهم و تولید ابزارهای حساس به حساب می آیند.
ویژگی ها
- مهندسی شده برای ابعاد منافذ کوچک و کنترل حجم به منظور ارایه نرخ جریان و تلورانس دقیق
- قابل سفارشی سازی به منظور دستیابی به نیازهای مشتری در کاربردهای خاص
- آلودگی کم در فرایندهای مهم
- اندازه منافذ دقیق و کنترل حجم و قابل ارایه در شکل ها و ضخامت های مختلف
- دارای افت و ثابت دی الکتریک پایین برای حداکثر بازدهی
مشخصات فنی
First Column | Second Column | Third Column | Fourth Column |
---|---|---|---|
First Row | Second Row | Third Row | Fourth Row |